项目名称：原子层沉积系统
采购单位🚣🏽♂️🦖：杏悦登录平台
采购方式：询价
成交单位👽👱♀️：元于科技（北京）有限公司
成交价格：298000元
购买数量🉑：1套
产品型号🩰🫕：YT-ALD150
评审日期：2022年7月19日
主要技术参数：
1. 主机
1.1 标准6 英寸原子层沉积系统
1.2 2路前驱体源，包括管路👩👩👦👦、高温ALD阀门🤗、50ml 源瓶🔚，2路均为加热源
1.3 沉积自动控制系统
1.4 沉积程序控制软件
1.5 预装Windows 的笔记本电脑
2. 选配前驱体源☘️：包括管路、加热套、高温ALD 网门、50ml 源瓶（最高可配6路前驱体）
3. 真空机械泵系统：机械泵与相关管路
真空机械泵型号：北仪优成TRP-6
公示时间🛍️：2022.7.20-2022.7.26🧑🏻🔧，如有异议请拨打64253334向王伟老师反映